今天第一次幫SEM換燈絲，電子顯微鏡的燈絲是正常使用下的消耗品，使用約40-80小時就可能會壽終正寢。有機會再來統計一下我們的燈絲到底平均壽命都多久好了？以下是今天複習完操作影片後的幾個重點及操作步驟：
1.材料 - 新燈絲、銅油膏、竹籤、無塵手套、不織布、無水酒精。
2.從Setup視窗調掉Filament設定值至0。(最後開HV前要調回100，不然會顯示燈絲狀社錯誤訊 息。)
3.關掉加速電壓。
4.洩真空
5.打開電子槍。(用螺絲起子放鬆槍體下方四顆固定螺絲，放鬆到切齊槍體外壁即可；小心輕放。)
6.下面步驟須戴上無塵手套防止汙染。
7.依序照逆時鐘方向轉開固定環、直上直下取下燈絲組，並轉下陽極板。(至少洩真空後等30分鐘，確保燈絲組已降溫，防燙傷。)
8.用竹籤、不織布，沾銅油膏將積碳汙染物清除，然後用無水酒精清除殘餘銅油膏。最後可用吹球噴氣，將酒精完全揮發。(用酒精清理的步驟至少重複5-7次，到完全無法在不織布上看到黑色積碳；拆下的三個部位都要清理，有孔的地方都是重點；沒有沾到油汙處不用特別沾銅油膏清。)
9.換上新燈絲，注意要加上新燈絲附的墊片。
10.依序將拆下的三個部位裝回去電子槍。
11.將O-ring上的粉塵，由內到外用不織布清除。
12.小心蓋回電子槍蓋。
13.壓住槍體及樣品放置腔的門，抽真空。
14.鎖上電子槍體的固定螺絲(對角鎖，轉緊後稍微用力即可)。
15.調回Filament設定值到100(否則不會永emission)。
16.開啟加速電壓(HV)(Probe current-30, Vacc-15kV)。
17.按下AFS，自動校準電子束輸出設定。
18.按下ABS，自動校正電子束誤差(過程中emission設定值自0-100上下跳動為正常現象，結束後設定值應介於40-100)。
19.校正Alignment (校正倍率約為21k倍)：
依序校正(5)(6)，(1)(2)(3)。(5)(6)用stigma鈕調整到畫面最亮，(1)(2)(3)照一般拍攝alignment調整的方法，調整光圈與電子束的位置(準則：畫面在原地不動、閃爍，或畫同心圓。)
20.對焦，調整像差(用sitgma鈕)
21.Done!
還好有當初工程師來更換時的教學影片，不然照原廠附的說明書操作會失敗...... 換完後有沒有比較清晰呢？要等下次拍攝了。
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